机台型号：APODA-DC。
设定主要功能：纯吸附式(制式双桶柜)
代表生物:天堂鸟
说明：IMP制程,气瓶柜
功能特点：
| Content | Specification | ||
| Model | APODA-SC | APODA-DC | |
| By-Pass Tank | Optional / 15 L | ||
| Canister Capacity | 100 L / 150 L | ||
| Power | AC、1Φ、208V 5A | ||
| Operation Type | Automatic (PLC base TOUCH screen) or Manual | ||
| Dimension (W* D* H, mm) | 950 x900x1850 | 1150x920x1850 | |
| Maintenance Area (W* D* H, mm) | 1,500 * 1,600 * 2,200 | ||
| Main Application Process | IMP , ETCH, SiH4, DEZ, and All Gases | ||
设备型号意义介绍：
APODA :
中文音 . 艾波达
天堂鸟---印度尼西亚雨林代表生物, 印度尼西亚国宝鸟, 另一名为极乐鸟
