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GIGAS- 40K2022-05-17
机台型号:GIGAS- 40K
设定主要功能:
其他产业大风量
4万CMH
锅炉NOx
取代RTO
处理VOCs -
GIGAS- 7K2022-05-17
机台型号:GIGAS- 7K
设定主要功能:
芯片产业Central Scrubba
应用剧毒ASH3,PH3
易爆SiH4及应用环保
提标100%完全处理 -
ANACONDA2022-05-17
机台型号:ANACONDA。
设定主要功能:自燃吸附复合式(半导体版)
代表生物:森蟒
说明:CVD制程,取代电热式及燃烧式,LED 制程,取代水洗加药式 -
ONCA2022-05-17
机台型号:ONCA。
设定主要功能:大流量吸附式(液体槽专用型)
代表生物:美洲豹
说明:处理大流量挥发气体,(VOCs , NOx黄烟, 酸气及NH3) -
HANNAH2022-05-17
机台型号:HANNAH。
设定主要功能:触媒吸附复合式(半导体版)
代表生物:眼镜王蛇
说明:ETCH制程,取代电浆式及燃烧式 -
APODA-DC2022-05-17
机台型号:APODA-DC。
设定主要功能:纯吸附式(制式双桶柜)
代表生物:天堂鸟
说明:IMP制程,气瓶柜 -
APODA-SC2022-05-16
机台型号:APODA-SC。
设定主要功能:纯吸附式(制式单桶柜)
代表生物:天堂鸟
说明:IMP制程,气瓶柜,简配版型号为APODA-SCMA -
AP-2002022-05-16
吸附剂型号与对应处理气体:
AP-200 : 氢化物气体(Ion Implant) (PH3,AsH3,GeH4,B2H6 ,ect., )