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指示剂(变色球) / 酸性气体2022-05-16
指示剂(变色球) / 原理:
● 指示剂是一种对酸碱度敏感的化学物质(过渡金属螯合物),吸附目标气体后,它的颜色会随酸碱度及反应物的不同而变化。
● 指示剂是利用载体(活性氧化铝)的吸附能力将变色药剂附着在载体的表面,所以变色球的颜色就会随着酸碱度的不同产生颜色的变化。
● 当制程气体未破出前,通过的气体是中性气体不会改变酸碱度,所以变色球的颜色不会变化;制程气体破出后,通过的气体会改变变色球的酸碱度而产生颜色变化。 -
指示剂(变色球) / AsH3,PH3气体2022-05-16
指示剂(变色球) / 原理:
● 指示剂是一种对酸碱度敏感的化学物质(过渡金属螯合物),吸附目标气体后,它的颜色会随酸碱度及反应物的不同而变化。
● 指示剂是利用载体(活性氧化铝)的吸附能力将变色药剂附着在载体的表面,所以变色球的颜色就会随着酸碱度的不同产生颜色的变化。
● 当制程气体未破出前,通过的气体是中性气体不会改变酸碱度,所以变色球的颜色不会变化;制程气体破出后,通过的气体会改变变色球的酸碱度而产生颜色变化。 -
触媒2022-05-16
PFCs 气体处理触媒应用原理:
1. 多孔性分子拴颗粒结构
2. 触媒基材成分为金属氧化物,高温烧结成类陶瓷。耐酸碱,耐高温,不怕水。
3. 触媒基材表面涂布贵金属,如铂Pt,钯Pd等。