指示剂(变色球) / 原理
● 指示剂是一种对酸碱度敏感的化学物质(过渡金属螯合物)，吸附目标气体后，它的颜色会随酸碱度及反应物的不同而变化。
● 指示剂是利用载体(活性氧化铝)的吸附能力将变色药剂附着在载体的表面，所以变色球的颜色就会随着酸碱度的不同产生颜色的变化。
● 当制程气体未破出前，通过的气体是中性气体不会改变酸碱度，所以变色球的颜色不会变化;制程气体破出后，通过的气体会改变变色球的酸碱度而产生颜色变化。
| 目标气体 | AsH3 & PH3 | ||
| 型号 | D-001 | ||
| 颜色 | 淡篮色 | 淡篮/灰色 | 灰/黑色 |
| 图片 |  |  |  |
| 颜色 | 淡蓝 | 灰色 /淡蓝 | 灰色/ 黑色 |
| DRE% | > 99% | 85~99% | < 85% |
