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AP-3002022-05-16
吸附剂型号与对应处理气体:
AP-300 : 氯化物气体( Acid Gases) (ClF3,HCl,BCl3,SiCl4,ect.,) -
AP-4002022-05-16
吸附剂型号与对应处理气体:
AP-400 : 氮化物气体( Ntride Gases) (NH3,HCN, NF3 ect.,) -
AP-5002022-05-16
吸附剂型号与对应处理气体:
AP-500 : 硅烷&氯硅烷&有机类气体 (SiH4,DCS,TCS, & TEOS, DEZ,PGMEA ,Dioxin,ect.) -
AP-6002022-05-16
吸附剂型号与对应处理气体:
AP-600 : 高温型.(>550℃ ) (PFCs, Fluoride ,Chloride and Bromide)
(DCS,SiH4,WF6,HF,Cl2, SiCl4,ClF3,HBr,NF3, SF6, ) -
AP-8002022-05-16
吸附剂型号与对应处理气体:
AP-800 : 氮氧化物气体特用型(黄烟) ( NO,NO2,NOx,SO2,ect.,) -
AP-9002022-05-16
吸附剂型号与对应处理气体:
AP-900 : 剧臭气体硫化物特用型 (H2S,SO2,ect.,) -
指示剂(变色球) / H2S,H2Se气体2022-05-16
指示剂(变色球) / 原理:
● 指示剂是一种对酸碱度敏感的化学物质(过渡金属螯合物),吸附目标气体后,它的颜色会随酸碱度及反应物的不同而变化。
● 指示剂是利用载体(活性氧化铝)的吸附能力将变色药剂附着在载体的表面,所以变色球的颜色就会随着酸碱度的不同产生颜色的变化。
● 当制程气体未破出前,通过的气体是中性气体不会改变酸碱度,所以变色球的颜色不会变化;制程气体破出后,通过的气体会改变变色球的酸碱度而产生颜色变化。 -
指示剂(变色球) / NH3,NO2,NO气体2022-05-16
指示剂(变色球) / 原理:
● 指示剂是一种对酸碱度敏感的化学物质(过渡金属螯合物),吸附目标气体后,它的颜色会随酸碱度及反应物的不同而变化。
● 指示剂是利用载体(活性氧化铝)的吸附能力将变色药剂附着在载体的表面,所以变色球的颜色就会随着酸碱度的不同产生颜色的变化。
● 当制程气体未破出前,通过的气体是中性气体不会改变酸碱度,所以变色球的颜色不会变化;制程气体破出后,通过的气体会改变变色球的酸碱度而产生颜色变化。