吸附剂型号与对应处理气体
AP-600 : 高温型.(>550℃ ) (PFCs, Fluoride ,Chloride and Bromide)
(DCS,SiH4,WF6,HF,Cl2, SiCl4,ClF3,HBr,NF3, SF6, )
化学性吸附剂应用原理
◆ 化学性吸附剂
◆ 吸附剂反应机制
- 气体被吸附剂分子栓结构吸附
-吸附剂有效成份将有害气体强迫反应成固化物
-不可逆反应
Objective (特性)
■ Remove Corrosive, Toxic, Explosive ,Halogen, VOCs gas below TLV (处理目标气体达到零检出)
Resin Material (成分)
■ Inorganic Adsorbent (无机金属氧化物)
Adsorption Mechanism (作用机制原理)
■ Gas Diffusion (第一阶段:气体扩散)
■ Physical Adsorption (第二阶段:物理性吸附)
■ Chemical Reaction (第三阶段:化学反应)
General Type (类型)
■ Room Temperature Type ( 常温型)
Operation Temp.(操作温度) : 0℃ ~ 250℃
■ High Temperature Type ( 高温型)
Operation Temp.(操作温度) : 0℃ ~ 750℃
